Метод двухстадийного формирования полых каналов в стеклах путем прямой лазерной записи и последующего селективного травления активно применяется для изготовления устройств микрофлюидики. Исследовано влияние ...
Исследовано влияние параметров лазерного излучения и состава травильного раствора на длину полых каналов, формируемых в кварцевом стекле одностадийным методом пространственно-селективного жидкостного травления ...